Perbedaan utama antara analisis mikro dan analisis semi mikro adalah bahwa analisis mikro digunakan untuk menganalisis materi yang memiliki massa kurang dari 10mg sedangkan analisis semi mikro digunakan untuk menganalisis materi yang memiliki massa sekitar 100-500 mg.
Analisis mikro dan semi mikro adalah dua jenis analisis kualitatif, yaitu analisis bahan berdasarkan sifatnya, bukan kuantitasnya. Analisis mikro mengacu pada analisis material yang memiliki ukuran partikel dalam skala mikro. Metode yang berbeda dapat digunakan untuk analisis mikro. Analisis semi mikro, di sisi lain, adalah metode analisis mikro yang dikembangkan.
